日本日立可變壓力掃描電子顯微鏡SU6600概述
該顯微鏡采用可變壓力(VP)技術(shù),除了具有高分辨率成像和樣品物性表征特性外,還支持X 射線(xiàn)能譜儀, X射線(xiàn)波譜儀以及電子背散射衍射系統(tǒng)進(jìn)行各種樣品分析。在可變壓力模式下,操作者可改變樣品室的真空狀態(tài)由高真空狀態(tài)改為低真空狀態(tài)。
電子槍?zhuān)篫rO/W肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
分辨率:1.2 nm /30 kV,3.0 nm /1 kV
探針電流:1pA~200nA
樣品倉(cāng)壓力:10-4Pa(高真空), 10~300Pa(低真空)
樣品尺寸:樶大直徑150 mm×高40 mm
日本日立可變壓力掃描電子顯微鏡SU6600特點(diǎn)
★ 樶大200nA的探針電流,可滿(mǎn)足EDX、WDX、EBSP、CL等應(yīng)用 ★ 配有VP功能,可自動(dòng)實(shí)現(xiàn)壓差光闌的安裝和取出 ★ 配有二次電子探頭和背散射探頭,可選配ESED ★ 大型分析型樣品室,可方便的安裝多種分析附件 ★ 可裝載150mm直徑、40mm高樣品 ★ 電腦控制的5軸優(yōu)中心馬達(dá)樣品臺(tái)
蘇公網(wǎng)安備 32050502000404號(hào)