HORIBA一鍵式全自動快速橢偏儀Auto SE概述
一鍵式全自動快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動薄膜測量分析工具。采用工業化設計,操作簡單,可在幾秒鐘內完成全自動測量和分析,并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質量控制理想的解決方案。
技術參數:
1. 光譜范圍:450-1000 nm
2. 多種微光斑自動選擇
3. 光斑可視技術,可觀測任何樣品表面
4. 自動樣品臺尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動調節; Z軸高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探測器
HORIBA一鍵式全自動快速橢偏儀Auto SE特點
★ 液晶調制技術,無機械轉動部件,重復性,信噪比高
★ 技術成像系技術,所有樣品均可成像,對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數據分析更簡單.
★ 反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測試
★ 全自動集成度高,安裝維護簡便
★ 一鍵式操作軟件,快速簡單
★ 自動MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性
蘇公網安備 32050502000404號