HORIBA真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV
HORIBA真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV概述
專為VUV 測(cè)量設(shè)計(jì),整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無(wú)氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性;****的超快測(cè)量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮?dú)庀牧可佟?
重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域
-
超薄膜
-
157nm 光刻新材料
-
有機(jī)材料、高分子材料
-
高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
-
抗反射涂層
-
半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷
-
MgF2、CaF2、LaF3
HORIBA真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV特點(diǎn)
★ 50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù)
★ 45 秒內(nèi)完成充氮?dú)?
★ 2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空
★ 8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測(cè)量
★ 兩種工作模式:氮?dú)馇逑唇Y(jié)合抽
★ 真空、連續(xù)氮?dú)馇逑?
★ 光譜范圍:147nm~850nm;147nm~2100nm